产品描述

产品简介
Neocera Pioneer 系列 PLD 系统— 基于卓越经验的创新设计，利用PLD 开展了深入广泛的研究，建立了获得薄膜质量的临界参数，特别适用于沉积复杂氧化物薄膜。
这些思考已经应用于Pioneer 系统的设计之中。
很多复杂氧化物薄膜在相对高的氧压（>100 Torr）下冷却可获得更高的质量。所有Pioneer 系统都具备此功能（压力范围可从额定初始压强到大气压）。这也有益于纳米粒子的生成。
Pioneer PLD 系统的激光束入射角为45°，保持了激光密度在靶材上的最大均匀性，同时避免使用复杂而昂贵的光学部件。更大的入射角能够拉长靶材上的激光斑点，导致密度均匀性的损失。
为了避免使用昂贵的与氧气兼容的真空泵，消除油的回流对薄膜质量的影响，所有Pioneer 系统的标准配置都采用无油泵系统。
我们的研究表明靶和基片的距离是获得薄膜质量的关键参数。Pioneer 系统可以控制靶材和基片的距离，以达到最优的沉积条件。

技术原理
脉冲激光沉积 (PLD) 用来在多种基材上沉积各种薄膜。准分子激光器能量高、波长短，具备极佳的沉积率，可用于沉积具有优良化学计量数的高质量薄膜。

脉冲激光沉积 (PLD) 是一种物理气相沉积 (PVD) 技术，用于在真空下将薄膜沉积到基材上。在 PLD 中，激光脉冲照射到目标材料上使其汽化，并产生一股汽化材料。然后，这股汽化材料被引导到基板上，在基板上凝结并形成一层薄膜。

准分子激光器是许多 PLD 应用中的首选激光器，因为它们的脉冲能量高，提供的薄膜生长速率适合从研究直至批量生产的各种应用。同样重要的是，这些紫外线激光器具备高光子能量，确保了用各种材料都可以实现优良的薄膜化学计量数，而这是大多数应用的一个关键要求