【国产自研】FIS4-DPHASE-1
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产品描述

适用:大口径、长曲率半径的光学元件检测


主要特点

◆  利用了组合的双干涉系统:共路干涉稳定、无需移相、调整便捷, 适于大口径、长光程高精度、稳定测量;

◆  测量分辨率 2 nm;

◆  测量重复性强 ≤1/1000λ(633nm波段);

◆  无需隔振、稳定性 & 抗振性超强(适用工厂高精度检测);

◆  操作简便透配不同F数的消球差镜:F1、F3、F5……

◆  实时显示输出波前 PV值、RMS值、Zernike系数 … …

◆  搭配五维调整架、适应各姿态调节。


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